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Le laser excimère EX10, laser compact refroidi par air, est recommandé pour les applications nécessitant un grand taux de répétition et une puissance moyenne modérée. Le laser excimère EX10 offre de hautes performances dans un package compact et fournit une grande fiabilité et une source puissante de rayonnement UV. Les taux de répétition de 300Hz et de 600Hz dans les unités refroidies par air, une puissance moyenne de 12W avec le KrF à 248nm et de 6.5W avec le ArF à 193nm donnent au EX10 les meilleures caractéristiques en sortie de tous les mini excimère. Le laser excimère EX10 a également une durée de vie de gaz très importante avec jusqu'à 2 ans de fonctionnement avant le réapprovisionnement en XeCl. Une version 1000Hz refroidie par eau est également disponible Les Principales Applications :
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Le laser excimère EX100 délivre jusqu'à 100mJ par impulsions et 68W de puissance dans un design compact. Il existe en 250 et 500Hz de fréquence de répétition en refroidi par eau et 125Hz refroidi par air. | |||
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High Energy Excimer Laser The EX200 is available in two air cooled versions, 60Hz and 125Hz. The EX200 provides up to 200mJ at 248nm and 125mJ at 193nm. This laser is perfect for applications such as Pulsed Laser deposition. The self contained PC compatible lasers include internal vacuum pumps and Halogen filters. | |||
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Le laser excimère EX5 est un laser excimère à faible coût ultra compact 46 X 26 X 26cm, pesant 14kg qui a une puissance jusqu'à 3.5W à 248nm et 1.5W à 193nm. Les principales applications :
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Le laser excimère EX50, laser compact refroidi par air, est recommandé pour les applications nécessitant un grand taux de répétition et une puissance moyenne modérée. 4 modèles existent avec des répétitions de 250, 500, 750 et 1000Hz et des puissances moyennes de 35W pour KrF à 248nm et 18W pour ArF à 193nm. Le laser excimère EX10 a également une durée de vie de gaz très importante avec jusqu'à 1 ans de fonctionnement avant le réapprovisionnement en XeCl. Les principales applications :
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